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phoenix nanome|x neo 高分辨率160/180kV微米/纳米焦点X-射线检测系统 可选三维CT功能 phoenix nanome|x neo系列结合高分辨率二维X射线技术和CT技术于一体,性能优异且运行定位精确高使得系统具有高效和可靠的特点, 广泛应用于二维和三维离线检测要求: 产品研发, 失效分析, 产品制造和质量控制。phoenix|x-ray x|act技术提供了简便的基于CAD文件导入的自动检测程序, 具有微米级检测能力, 特别是受益于高动态响应和主动冷却特性的DXR平板探测器, 有可达30fps刷新率, 提供了杰出的实时清晰图像和高速三维CT扫描性能。
实时CAD数据匹配下的BGA锡球开路
和Flash!Filters影像优化
U盘线路板的三维CT影像
先进的planarCT评估(左)
没有重叠特性的X射线影像
特点
具有主动冷却功能的的数字DXR探测器,可在180kV的电压下实现高动态实时成像 180 kV/20W高功率微米/纳米焦点射线管,检测细节分辨率可达0.5μm/0.2μm x|act软件提供基于CAD的μAXI功能自动检测功能 钻石靶使数据采集速度提高2倍,同时保证扫描图像质量 CT功能可在10秒内完成扫描
DXR- HD 实时清晰成像
在拥有的高动态范围DXR探测器和先进的闪烁体技术的助力下,phoenix|x-ray在当前的工业实时检测标准上作出进一步提升: 实时图像可以在1000x1000像素尺寸下以30帧每秒的速率刷新,同时保证低噪音和高图像质量
采用主动式温度稳定器来保持精准和可靠的检测数据
3D CT扫描数据高速采集重建
细节分辨率可以达到0.5微米/0.2微米
使用Flash Filter后可以清楚看到μBGA里面的气泡。 几何放大倍率高达1970倍
金刚石窗口            铍窗口
(相同射线参数: 130 kV, 11.4 W)phoenix nanome x
高功率下高分辨率: 钻石靶
与铍靶相比,钻石靶可以在更高能量的情况下保持更小的焦点,保证设备在高能量的情况下得到更清晰的扫描结果: 在实现同等影像水平下数据截取速度可快2倍
同时达到高能量,高分辨率
无毒靶材,防止铍金属中毒
焦点稳定性有极大提升
得益于靶材单位能量密度增加以及降解速度的降低,靶材寿命显著增加
高分辨率的3D断层扫描
对于一些小样件的高精度检测和3D分析,phoenix|x-ray提供了一些拥有的3D CT技术: 高达180kV的纳米焦点射线管,高性能DXR探测器,钻石靶,高速数据重建算法 体素分辨率低可达2微米;搭配上nanoCT技术的nanome|x甚至可以得到更加清晰锐利的图像
nanoCT在电子封装TSV中的应用, 可清晰发现铜填充物中的空洞
简单快速的编程: x|act可生成自动检测的程序
x|act – 基于CAD的检测
高分辨率μAXI对于极高的缺陷覆盖
作为一个关于μAXI具有极高的缺陷覆盖的解决方案,phoenix x射线系统提供其高精度检测系统 microme|x neo和nanome|x neo,其中包含了x|act软件包与简单的离线CAD编程。其直观地全新的用户界面具有已改进的杰出的精度和重复性,分辨率可达到几微米的小视图,360°旋转和斜视达到70°确保达到高品质标准,即使是检测部件的间距只有100μm。除了自动检测,x|act 确保一个焊盘能够容易别,通个其实时的CAD 数据叠加方程,即使在手动检测中,采用Flash! Filters优化图像确保高的缺陷覆盖。 基于CAD的射线自动识别编程
x|act 相比较于传统观点基于AXI,不仅仅提供了较少的设置时间。
一旦程序完成,检测程序可移植到所有x|act 兼容的程序里。 基于焊盘位置的简单离线程序
针对不同类型焊盘的检测策略
全自动检测程序生成器
极高的定位精度,即使在斜视和旋转的情况下
在手动检测中,容易识别焊盘
对于较大的PCB板具有高重现性
快速简单的编程:只需指定检查策略并让
planarCT电路板的截面检测 对大型复杂板的快速二维切片或三维的评估 无需破坏大型电路板,无复杂零件干扰
平面CT切面或多切面视图允许一个平面或整体的确切检测结果
客户受益
phoenix microme|x /nanome|x neo
Unique高分辨率实时检测图像,配备高动态相应比DXR 数字探测器
高功率180 kV / 20W 微纳米管可穿透多种厚样品
简易操作设置,高效的自动CAD检测程序
实时的CAD和检测结果叠加即使在旋转及倾斜的检测视角
极高的缺陷检出率
高细节分辨率微米管0.5微米,纳米管0.2微米 可选配Flash滤镜,图像优化技术 27寸大显示器更好的识别缺陷 对于高级别的失效分析可选配高分辨率的三维微/纳米级CT或Planar CT
在任何时候任何角度,x|act都 提供实时的计算机辅助设计叠加和检测结果到实时的x射线图像。拥有Flash! Filters 技术选项能够更快更可靠的检测缺陷。
技术规格和配置

系统尺寸

尺寸(W×H×D):2,160 mm x 1,920 mm x 1,590 mm
                          (85” x 75.6” x 62.6”)

1,590 mm (62.6”)

大约3,100kg/6,835 lbs.
辐射安全防护
辐射安全屏蔽室是全方位的安装防护,依据德国RöV法令和美国FDA 21 CFR1020.40 。对于设备的操作,可能需要当地的官方许可。
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